質量流量控制器

型號:MFCB

供應商: 金器工業股份有限公司

主要用於需要精準控制氣體流量的工業自動化系統 ✔ 半導體製程氣體控制 ✔ 雷射加工設備 ✔ 精密 IoT 裝置控制 ✔ 其他氣體量測與控制場景。 配備 1.3″ TFT-LCD 65K 全彩顯示器,顯示清晰且可依安裝方向調整,方便讀取數據。 流量 / 壓力 / 溫度 / 濕度等資訊均可顯示。反應時間< 0.3 S。閥門型式 : 比例電磁閥,非通電時常閉 ( N.C.)。類比輸入及輸出、開關輸出可切換。

規格

閥門型式 比例電磁閥,非通電時常閉
適用氣體 非腐蝕性,不可燃性: 乾燥空氣(Air),氮氣(N₂),二氧化碳(CO₂),氫氣(Ar)
流量範圍 100
顯示器 123 1.3" 65K 全彩顯示器
顯示範圍 0~100% F.S.
顯示最小單位 (LPM) 1
顯示最小單位 (CFM) 1
壓力顯示範圍 -101~1000
壓力顯示最小單位 (kPa) 1
壓力顯示最小單位 (MPa) 0.001
壓力顯示最小單位 (kgf/cm²) 0.01
壓力顯示最小單位 (bar) 0.01
壓力顯示最小單位 (psi) 0.1
溫度顯示範圍 0~50°C/32~122°F (不結凍)
溫度顯示最小單位 (°C) 0.1
溫度顯示最小單位 (°F) 0.1
濕度顯示範圍 10~90% RH
濕度顯示最小單位 0.1% RH
控制精度 ± 3% F.S.
重複精度 ± 1% F.S.
溫度特性 ± 5% F.S.
壓力特性 ± 2% F.S.
壓力感測顯示精度 ± 2% F.S.
壓力感測重複精度 ± 0.1% F.S.
溫度感測顯示精度 ± 0.2 °C
濕度感測顯示精度 ± 0.25% RH
類比輸入及輸出精度 ± 1% F.S.
開關輸出 (NPN) NPN 開集極輸出
最大負載電流 (NPN) 200
最大供應電壓 (NPN) 24
內部壓降 (NPN) ≤ 1.5
開關輸出 (PNP) PNP 開集極輸出
最大負載電流 (PNP) 200
最大供應電壓 (PNP) 24
內部壓降 (PNP) ≤ 1.5
輸出模式 允差模式, 錯誤輸出模式
反應時間 0.3 s (typ.), 可達到設定值±2% F.S.
類比輸入及輸出 DC 1~5 V, 0~10 V, 4~20 mA
通訊介面 RS485 Modbus RTU
電壓電源 DC 24
消費電流 ≤ 300
標準動作壓力差 350 kPa (入口壓力: 350 kPa, 出口壓力: 0 kPa)
動作壓力差範圍 350~500
最高使用壓力 700
防護等級 IP40
工作流體溫度 5~50°C (無水露及不結冰狀況下)
周圍溫度 動作: 5~50°C; 保存: -10~60°C (無水露及不結冰狀況下)
周圍濕度 動作及保存時: 35~85%R.H. (無水露)
配件 2M
重量 685

技術特點

  • 123 全彩色顯示
  • 顯示可依安裝方向調整,容易讀取
  • 反應時間 < 0.3 S
  • 類比輸入及輸出、開關輸出可切換
  • 通訊協定 RS485 Modbus RTU
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